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技術(shù) | 高壓脈沖電源在MOS管老化測試中的應用

2021-12-13 16:45:14

  半導體器件老化測試是在一定溫度下長時間對元器件持續(xù)施加一定的電應力,通過電熱應力的綜合作用,加速元器件內(nèi)部的各種物理化學反應過程,促使元器件內(nèi)部隱藏的各種潛在缺陷盡早暴露出來。傳統(tǒng)元器件mos管采用硅材料,一般做簡單的靜態(tài)老化,對老化測試設備要求不高,DC高壓電源可以完成。目前,隨著高功率、高頻、對老化測試要求高的氮化鎵等新材料的興起,脈沖高壓電源可以廣泛應用于新材料MOS管的漏電流測試。新材料也是未來材料的發(fā)展趨勢。隨著新材料的發(fā)展,高壓脈沖電源在該領(lǐng)域的應用將越來越廣泛。電源參數(shù)和測試框圖如下:

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